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MEMS 二氧化氮傳感器GM-102B

MEMS 二氧化氮傳感器GM-102B

MEMS 二氧化氮氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測(cè)氣體存在時(shí)傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化,該氣體的濃度越高,傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。

0371-60932951

主要應(yīng)用

  • 便攜式與固定式二氧化氮檢測(cè)儀

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 采用MEMS工藝,結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,對(duì)二氧化氮靈敏度高
  • 尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快
  • 驅(qū)動(dòng)電路簡(jiǎn)單、穩(wěn)定性好、壽命長(zhǎng)

技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號(hào)GM-102B
產(chǎn)品類型MEMS二氧化氮氣體傳感器
標(biāo)準(zhǔn)封裝陶瓷封裝
檢測(cè)氣體二氧化氮
檢測(cè)濃度0.1-10ppm(NO2)
標(biāo)準(zhǔn)電路條件回路電壓Vc≤24V  DC
加熱電壓VH2.0V±0.1V ACorDC
負(fù)載電阻RL可調(diào)
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件下氣敏元件特性加熱電阻RH80Ω±20Ω(室溫)
加熱功耗PH≤40mW
敏感體表面電阻Rs10KΩ-1000KΩ(in 2ppm NO2)
靈敏度SRo(in air)/Rs(in 2ppm NO2)≤0.5
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件溫度、濕度20℃±2℃;55%±5%RH
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電路Vc:5.0V±0.1V;      VH:2.0V±0.1V


注:產(chǎn)品參數(shù)如有變動(dòng),恕不另行通知


產(chǎn)品尺寸

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