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熱式氣體流量傳感器簡介
熱式氣體流量傳感器是基于流體傳熱學原理的一類傳感器，利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質進行流量監(jiān)測。
流量芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成，熱偶堆對稱分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結處于一個隔熱底座上。
加熱電阻對熱偶堆的熱結進行加熱，熱偶堆熱結和冷結之間的溫度梯度導致輸出電壓。當流體靜止時
加熱電阻兩側對稱位置的溫度是相同的；當流體從右向左流動時等溫線向左側傾斜，加熱電阻兩側對稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側的熱偶堆測定 。
由于流體的傳熱只與流體質量和流體的熱容有關，因此傳感器可以直接測出流體質量流量。
熱式氣體流量傳感器特點及應用
熱式氣體流量傳感器利用比較簡單的構造來準確地測量氣體的質量流量，具有結構簡單、壓損小、量程范圍寬等優(yōu)點，在工業(yè)過程控制、醫(yī)療設備、便攜式儀器、環(huán)境監(jiān)測設備等領域有著廣泛的應用。
熱式氣體流量傳感器選型
型號 | FR03 | FR03H |
產品圖 |  |  |
常規(guī)量程（SLM） | 0.1/0.2/0.3/0.5 | 1/2/3/4/5 |
通徑 | DN3 | |
輸出方式 | 線性1-5V/0.5-4.5V | 線性1-5V/0.5-4.5V或數(shù)字IIC |
工作電壓 | DC5V-14V | |
精度 | ±（2±0.5FS）% | |
工作壓力 | 可定制 | ≤200Kpa |
工作溫度 | 0℃~50℃ | |
儲存溫度 | -20℃~80℃ | |
測量介質 | 干燥潔凈的非腐蝕性氣體 | |
電氣接口 | 2.54mm-5P插針或PH2.0-5P端子（可選） | |
機械接口 | / | ISO3mm |
型號 | FR06 | FR15 |
產品圖 |  |  |
常規(guī)量程（SLM） | 10/15/20 | 0-300 |
通徑 | DN6 | DN15 |
輸出方式 | 線性1-5V/0.5-4.5v或數(shù)字IIC | 線性模擬電壓和數(shù)字IIC |
工作電壓 | DC5V-14V | |
精度 | ±（2±0.5FS）% | 0-9SLM ±0.5SLM 9-300SLM ±2.5%FS |
工作壓力 | 可定制 | / |
工作溫度 | 0℃~50℃ | 5℃~60℃ |
儲存溫度 | -20℃~80℃ | |
測量介質 | 干燥潔凈的非腐蝕性氣體 | |
電氣接口 | 2.54mm-5P插針或PH2.0-5P端子（可選） | Molex 87832-1010 |
機械接口 | φ6-G1/8氣動插頭 | / |
型號 | FR20 | F1012 |
產品圖 |  |  |
常規(guī)量程（SLM） | 150/200/300 | 0.03/0.05/ 0.1/0.2/0.3/0.5/1 |
通徑 | DN20 | DN3 |
輸出方式 | 線性1-5V/0.5-4.5V或數(shù)字IIC | 線性1-5V/0.5-4.5V |
工作電壓 | DC5V-14V | DC7V-14V |
精度 | ±（2±0.5FS）% | ±2.5%FS |
工作壓力 | ≤200KPa | |
工作溫度 | 0℃~50℃ | |
儲存溫度 | -20℃~80℃ | |
測量介質 | 干燥潔凈的非腐蝕性氣體 | |
電氣接口 | PH2.0-5P端子 | 2.54mm-5P插針 |
機械接口 | ISO20mm | ISO3mm |
型號 | F1031 | F1031V |
產品圖 |  |  |
常規(guī)量程（SLM） | 50/100/150/200/300 | 100/150/200/300 |
通徑 | DN20 | |
輸出方式 | 線性1-5V/0.5-4.5V | 線性0.5-4.5V |
工作電壓 | DC7V-14V | DC5V-14V |
精度 | ±2.5%FS | ±4%FS |
工作壓力 | ≤200KPa | |
工作溫度 | 0℃~50℃ | |
儲存溫度 | -20℃~80℃ | |
測量介質 | 干燥潔凈的非腐蝕性氣體 | |
電氣接口 | PH2.0-5P端子 | |
機械接口 | ISO20mm | |
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