擴(kuò)散硅壓力傳感器介紹

2023-06-19 18:33:37

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原理介紹

擴(kuò)散硅壓力傳感器是利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯登電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴(kuò)散硅傳感器。

擴(kuò)散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，傳感器的電阻值發(fā)生變化，用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測量信號。

擴(kuò)散硅壓力傳感器

產(chǎn)品特點

1、適合制作小量程的變送器

硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點附近的低量程段無死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。

2、輸出靈敏度高

硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計高50～100倍，故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。

3、精度高

由于傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三部分由同一個元件實現(xiàn)，沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，重復(fù)性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。

4、壽命長，性能穩(wěn)定

由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級，彈性芯片最大位移在亞微米數(shù)量級，因而無磨損，無疲勞，無老化，壽命長達(dá)1×10⁷壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。

5、抗腐蝕能力強(qiáng)

由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，即使是非隔離型的擴(kuò)散硅壓力傳感器，也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。

6、體積小，重量輕

由于芯片采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。

WPAK63擴(kuò)散硅壓力傳感器

性能參數(shù)

測量介質(zhì)：液體和氣體

量程范圍：-100kPa～0～10kPa…100MPa

壓力類型：表壓、絕壓、密封壓

輸入阻抗：恒壓：3kΩ～18kΩ/恒流：2kΩ～5kΩ

響應(yīng)時間：≤1ms（上升到 90%FS）

傳感器特點

●Φ19mm 標(biāo)準(zhǔn) OEM 壓力芯體，與國內(nèi)外市場同類型產(chǎn)品互換性強(qiáng)；

● 全不銹鋼316L 封裝，抗腐蝕；

● 寬溫度補(bǔ)償-10 ～+70℃；

● 恒流、恒壓激勵可選；

● 可做歸一輸出；

● 補(bǔ)償板灌膠防潮保護(hù)；

擴(kuò)散硅壓力傳感器

產(chǎn)品應(yīng)用

擴(kuò)散硅壓力傳感器主要應(yīng)用于過程控制系統(tǒng)、壓力校準(zhǔn)儀器、液壓系統(tǒng)、生物醫(yī)藥儀器、液壓系統(tǒng)及閥門、液位測量、制冷設(shè)備和 HVAC 控制等行業(yè)，可以說，凡是自動化要求比較高的行業(yè)，都可能會用到擴(kuò)散硅壓力傳感器。